半導体/液晶関連/レーザーミラー
半導体装置部材
半導体製造を支える各種アルミ部材を生産しています。
- 大型材料から小型材料まで一貫で管理
- class６クリーンルーム保有 各種組立対応
- 長尺用洗浄設備
- ２ｍｘ４ｍ切削加工対応
アルミハニカム製製品トレイ
- 軽量なハニカムパネルを使用
- アルミ製でパーティクルの低減が可能
アルミハニカム製計測テーブル
- 高面精度なハニカムパネルを使用
- 最大精度はJIS2級定盤に準拠
- 鋼製定盤から大幅な軽量化
レーザーミラー
アルミニウムの特徴を生かして10mを超える大型反射用超精密切削加工ミラーとスキャナ ーは、レーザー技術に欠かせません。
長年にわたる製造技術、経験に基づいた確かな品質と優れた性能で幅広い分野から高く評価されています。
| 項目 | ： | 標準 |
| 面数 | ： | 5,6,8,10,12面 |
| 内接円直径 | ： | φ20 |
| 分割精度 | ： | ±30秒 |
| 平面度 | ： | λ/4（0.158μm）以下 |
| 反射率 | ： | 85％以上 |
吸着パネル
軽量で高強度なアルミハニカム構造を利用したアルミハニカム吸着パネルを生産しています。
半導体製造や精密機器の加工、太陽電池パネルの製造など、さまざまな産業にむけて専用設計対応しています。
| 軽量 | ： | ハニカム構造で大型でも非常に軽量です。 |
| 高強度 | ： | 軽量でありながら曲げ剛性に優れています。 |
| 高精度 | ： | 平面度が高く、精密な作業に適しています。 |
| 吸着機能 | ： | 真空チャックなどの吸着機能を持ちます。 |
搬送コンテナ
ターゲット材用搬送コンテナは、特定の材料や製品を安全かつ効率的に搬送するために設計されたコンテナです。
| 耐久性 | ： | ターゲット材を保護する強度を確保しています。 |
| 専用設計 | ： | 形状や使用条件に合わせた専用設計です。 |
| 軽量 | ： | アルミ製で軽量です。 |